什么是雙模式三維表面形貌儀

　　雙模式三維表面形貌儀是材料表面分析的一種三維形貌儀,雙模式三維表面形貌儀能夠在同一測試平臺(tái)上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提率。

　　同時(shí)雙模式三維表面形貌儀還集合了共焦光學(xué)形貌儀(共焦),WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測(變焦)。